Semitron® MPR 1000 PAI

Semitron® MPR 1000 รูปร่างมีความต้านทานความร้อนที่ยอดเยี่ยมและอัตราการลดลงและการกัดเซาะในห้องพลาสมา วัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงนี้ที่มีปริมาณไอออนิกต่ำมักถูกเลือกสำหรับการใช้งานในห้องสูญญากาศภายในการผสม CVD และการแบ่งส่วนย่อยของไอออนในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์

SEMITRON® MPR 1000 แสดงอายุการใช้งานที่เพิ่มขึ้นมากกว่าวัสดุดั้งเดิมเช่นสูงถึง 25X มากกว่าโพลีอิมด์ในโอโซนในบางกรณี เนื่องจากอายุการใช้งานที่ยาวนานจึงถูกระบุไว้กับวัสดุดั้งเดิมที่ใช้ในการใช้งานห้องสูญญากาศเช่นควอตซ์เซรามิกโพลีอิมไทด์และพลาสติกวิศวกรรมอื่น ๆ

คุณสมบัติของวัสดุ

เนื้อหาไอออนิกต่ำและการลดลงต่ำ

ความต้านทานความร้อนที่ยอดเยี่ยม

อัตราการกัดเซาะในพลาสมาน้อยที่สุด

ความต้านทานชิปที่ดีที่สุดความทนทานและความสามารถในการกลึง

ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานแอปพลิเคชันห้อง

การใช้งาน: ห้องสูญญากาศที่ใช้พลาสมา, แหวนยึด, แหวนร่องลึก, สกรู, หมุด, หัวฝักบัว, วงแหวนโฟกัส, ฉนวน, แผ่นสูญญากาศ

เกี่ยวกับ Semitron ®

ผลิตภัณฑ์เกรดSemitron® Semiconductor ได้รับการพัฒนาเพื่อช่วยให้นักออกแบบและผู้ใช้เพิ่มประสิทธิภาพประสิทธิภาพของอุปกรณ์การผลิตอุปกรณ์ นอกเหนือจากการผลิตอุปกรณ์แล้ววัสดุเหล่านี้จำนวนมากเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่เฉพาะเจาะจงที่ต้องมีการต้านทานการสึกหรอการต้านทานสารเคมีและการจัดการไฟฟ้าแบบคงที่

ผลิตภัณฑ์สองกลุ่มได้รับการพัฒนา หนึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการอุปกรณ์และการทดสอบแอปพลิเคชันและวินาทีสำหรับแอพพลิเคชั่น CMP รุ่นต่อไปพลาสมาและ Etch Chamber

เกรดเซมิทรอนมีอยู่ในแผ่น, ก้าน (บางสูตร) ​​และชิ้นส่วนกลึง