วัสดุที่ดีที่สุดที่จะใช้สำหรับแหวนเก็บรักษา CMP คืออะไร

วัสดุที่ดีที่สุดที่จะใช้สำหรับแหวนเก็บรักษา CMP คืออะไร?

เวเฟอร์ซิลิคอนเป็นเวเฟอร์ซิลิกอนที่ใช้ในการผลิตวงจรเซมิคอนดักเตอร์ซิลิคอนและจากนั้นกระบวนการขัดกลไกในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ซิลิคอนและเป็นลิงค์ที่สำคัญมากเรามักจะได้ยินเวเฟอร์สองสามนิ้ว เวเฟอร์ซิลิคอนยิ่งประสิทธิภาพการทำงานของเวเฟอร์ซิลิคอนนี้ดียิ่งขึ้นศูนย์รวมของความแข็งแรงทางเทคนิคจึงแข็งแกร่งขึ้นดังนั้นในกระบวนการผลิตเวเฟอร์อัตราผลตอบแทนได้กลายเป็นเงื่อนไขที่สำคัญมากซึ่งสำหรับข้อกำหนดการขัดผิวเวเฟอร์ก็เพิ่มขึ้นเช่นกัน กระบวนการขัดก็มีความซับซ้อนมากขึ้นเรื่อย ๆ ดังนั้นกระบวนการขัดเงาในการใช้วงแหวนคงที่ CMP ที่ครบกำหนด

ในระหว่างกระบวนการขัดเงาเวเฟอร์วงแหวนยึด CMP จะต้องถือเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการขัด ในระหว่างกระบวนการขัดเงาสารเคมีที่แตกต่างกันจะถูกเพิ่มเข้ามาและของเหลวเหล่านี้สามารถกัดกร่อนส่วนประกอบที่ขัดเงาได้ดังนั้นจึงต้องใช้วงแหวนรักษา CMP เพื่อให้สามารถทนต่อโหลดเชิงกลบางอย่างความยืดหยุ่นที่ดีและความต้านทานการกัดกร่อนและลักษณะอื่น ๆ

เพื่อสรุปเพื่อผลิตแหวนเก็บรักษา CMP เราจำเป็นต้องมีโปรเซสเซอร์เพื่อให้มีความแม่นยำในการประมวลผลที่สูงมากและความมั่นคงในมิติเพื่อลดการเกาของเวเฟอร์ในภายหลัง

โดยปกติแล้วเราจะเลือกพลาสติกวิศวกรรมพิเศษสองชนิด: PPS และ PEEK เพื่อประมวลผลและผลิตแหวนรักษา CMP

วัสดุ PPS นั้นมีความต้านทานต่อการสึกหรอสูงความต้านทานทางเคมีที่ดีและความต้านทานตัวทำละลายรวมถึงคุณสมบัติแรงเสียดทานที่ดีวัสดุที่สะอาดของสารพิษสูงจะไม่ปนเปื้อนเวเฟอร์เมื่อเทียบกับวงแหวนคงที่ CMP PEEK, PPS CMP ต่ำกว่าและได้สร้างห่วงโซ่อุตสาหกรรมที่สมบูรณ์โดยครอบครัวเน้นประสิทธิภาพต้นทุน

แหวนป้องกัน CMP PEEK มีค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานสูงกว่าเมื่อเทียบกับประสิทธิภาพการใช้แรงเสียดทานของวงแหวนการยึดวงแหวน PPS CMP นั้นยอดเยี่ยมกว่ามีความต้านทานทางเคมีที่ครอบคลุมและมีเสถียรภาพมากขึ้นความต้านทานอุณหภูมิสูงที่กว้างขึ้น สภาพแวดล้อมการตัดเฉือนที่มีความแข็งแรงสูงในระยะเวลาที่สัมพันธ์กันมากขึ้นสภาพการทำงานเดียวกันนานขึ้น แต่ค่าใช้จ่ายจะสูงขึ้นเมื่อเทียบกับบางอย่าง