Super Engineering Plastics (Peek/PPS) ในเซมิคอนดักเตอร์

ด้วยความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับชิปในสาขาต่าง ๆ เช่นอุปกรณ์สื่อสารอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภคยานยนต์ ฯลฯ การขาดแคลนชิปทั่วโลกและคลื่นเพิ่มราคาเพิ่มขึ้นเรื่อย ๆ กระบวนการผลิตชิปมีความซับซ้อนมากเมื่อพูดถึงการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ความสนใจมากขึ้นมักจะจ่ายให้กับเวเฟอร์ซิลิกอน, ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์, โฟโต้มาส, โฟโตเรสต์, เป้าหมาย, สารเคมีและวัสดุอื่น ๆ และอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้อง Invisible Guardian - พลาสติก

ความท้าทายที่ยิ่งใหญ่ที่สุดที่เผชิญกับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือการควบคุมมลพิษโดยเฉพาะอย่างยิ่งกับการพัฒนาเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์กำลังจะเล็กลงและซับซ้อนยิ่งขึ้น อุณหภูมิสารเคมีกัดกร่อนสูง

ตลอดกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์บทบาทของพลาสติกส่วนใหญ่เป็นบรรจุภัณฑ์และการขนส่งการเชื่อมต่อแต่ละขั้นตอนการประมวลผลป้องกันการปนเปื้อนและความเสียหายการควบคุมการปนเปื้อนที่เหมาะสมที่สุดและการปรับปรุงผลผลิตของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ วัสดุพลาสติกที่ใช้ ได้แก่ PEEK, PPS, PP, ABS, PVC, PBT, PC, Fluoroplastics, PAI, COP, ฯลฯ และด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ความต้องการประสิทธิภาพสำหรับวัสดุก็สูงขึ้นเรื่อย ๆ

ต่อไปนี้มุ่งเน้นไปที่การประยุกต์ใช้พลาสติกพิเศษทางวิศวกรรม PEEK/PPS ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

1, วงแหวนคงที่ CMP

การบดเชิงกลทางเคมี (CMP) เป็นเทคโนโลยีกระบวนการสำคัญในกระบวนการผลิตเวเฟอร์วงแหวนคงที่ CMP ใช้ในกระบวนการบดเพื่อแก้ไขเวเฟอร์เวเฟอร์ทางเลือกของวัสดุควรมีความต้านทานการสึกหรอที่ดีความเสถียรของมิติความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมี ง่ายต่อการประมวลผลเพื่อหลีกเลี่ยงรอยขีดข่วนพื้นผิวของเวเฟอร์ / เวเฟอร์คริสตัลมลพิษ

วงแหวนคงที่ CMP ใช้เพื่อแก้ไขเวเฟอร์ในกระบวนการบดวัสดุที่เลือกควรหลีกเลี่ยงการเกาพื้นผิวเวเฟอร์มลพิษ ฯลฯ โดยปกติจะใช้การผลิต PPS มาตรฐาน

Peek มีความเสถียรในมิติสูง, ง่ายต่อการดำเนินการ, คุณสมบัติเชิงกลที่ดี, ความต้านทานทางเคมีที่ดีและความต้านทานต่อการเสียดสีที่ดีเมื่อเทียบกับแหวน PPS ที่ทำจากแหวนแก้ไข CMP PEEK นั้นทนต่อการขัด การปรับปรุงกำลังการผลิตเวเฟอร์

วัสดุ: Peek, PPS

2. ผู้ให้บริการเวเฟอร์

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ตามชื่อแนะนำใช้ในการโหลดเวเฟอร์, กล่องเวเฟอร์, กล่องขนส่งเวเฟอร์, เรือคริสตัลและอื่น ๆ เวเฟอร์ที่เก็บไว้ในกล่องการขนส่งในกระบวนการผลิตทั้งหมดคิดเป็นสัดส่วนที่สูงของเวลากล่องเวเฟอร์เองวัสดุคุณภาพและความสะอาดอาจมีผลกระทบมากขึ้นหรือน้อยลงต่อคุณภาพของเวเฟอร์

ผู้ให้บริการเวเฟอร์โดยทั่วไปคือความต้านทานต่ออุณหภูมิคุณสมบัติเชิงกลที่ยอดเยี่ยมความเสถียรของมิติเช่นเดียวกับที่ทนทาน, ต่อต้าน, outgassing ต่ำ, การตกตะกอนต่ำ, วัสดุรีไซเคิล, กระบวนการต่าง ๆ ที่ใช้ในวัสดุที่เลือกเวเฟอร์นั้นแตกต่างกันไป

PEEK สามารถใช้ในการสร้างกระบวนการถ่ายโอนทั่วไปกับผู้ให้บริการโดยทั่วไปใช้ antistatic peek, PEEK มีคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมมากมายความต้านทานการสึกหรอความต้านทานทางเคมีความเสถียรของมิติการป้องกันและต่ำเพื่อช่วยป้องกันการปนเปื้อนของอนุภาคและปรับปรุงความน่าเชื่อถือของการจัดการเวเฟอร์ , จัดเก็บและถ่ายโอน

วัสดุรวมถึง: PEEK, PFA, PP, PES, PC, PEI, COP, ฯลฯ ซึ่งโดยทั่วไปจะถูกแก้ไขด้วยคุณสมบัติต่อต้านคงที่

3. กล่องหน้ากากไลท์

Photomask เป็นกระบวนการผลิตชิป photolithography ที่ใช้ใน Master กราฟิกแก้วควอตซ์เป็นสารตั้งต้นและเคลือบด้วยการแรเงาโลหะโครเมี่ยมการใช้หลักการเปิดรับแสงแหล่งกำเนิดแสงผ่านการฉายแสงไปยังเวเฟอร์ซิลิคอน ลวดลาย. ฝุ่นหรือรอยขีดข่วนใด ๆ ที่ติดอยู่กับ photomask จะทำให้เกิดการเสื่อมสภาพในคุณภาพของภาพที่คาดการณ์ไว้ดังนั้นจึงจำเป็นต้องหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของโฟโตมาสค์และเพื่อหลีกเลี่ยงอนุภาคที่เกิดจากการชนหรือแรงเสียดทานที่อาจส่งผลต่อความสะอาดของโฟโตสค์

เพื่อหลีกเลี่ยงความเสียหายที่เกิดจากหมอกแรงเสียดทานหรือการกระจัดของหน้ากากกล่องหน้ากากมักทำจากการต่อต้านแบบคงที่, outgassing ต่ำและวัสดุที่ขรุขระ

มองดูความแข็งสูงการสร้างอนุภาคที่ต่ำมากความสะอาดสูงการต่อต้านแบบคงที่ความต้านทานทางเคมีความต้านทานต่อการขัดถูความต้านทานการไฮโดรไลซิสความแข็งแรงของอิเล็กทริกที่ดีมากและความต้านทานการแผ่รังสีที่ยอดเยี่ยมและลักษณะอื่น ๆ ในการผลิตการส่งผ่านและการจัดการโฟโต Photomasks เพื่อให้แผ่นโฟโตสค์สามารถเก็บไว้ในการปนเปื้อนที่ต่ำและการปนเปื้อนของไอออนิกต่ำในสภาพแวดล้อม

วัสดุ: แอนตี้แอบดูพีซีป้องกันสถิติ ฯลฯ

4. เครื่องมือ wafer

เครื่องมือที่ใช้ในการยึดเวเฟอร์หรือเวเฟอร์ซิลิกอนเช่นหนีบเวเฟอร์ไม้เกวียนสูญญากาศ ฯลฯ เมื่อยึดเวเฟอร์วัสดุที่ใช้จะไม่สร้างรอยขีดข่วนบนพื้นผิวเวเฟอร์ไม่มีสารตกค้างเพื่อให้แน่ใจว่าพื้นผิวของเวเฟอร์สะอาด

PEEK นั้นมีความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงความต้านทานต่อการเสียดสีความเสถียรในมิติที่ดีการลดลงต่ำและการดูดความชื้นต่ำ เมื่อเวเฟอร์และเวเฟอร์ซิลิคอนถูกยึดด้วยหนีบเวเฟอร์แอบดูไม่มีรอยขีดข่วนบนพื้นผิวเวเฟอร์และเวเฟอร์ซิลิคอนและไม่มีสิ่งตกค้างที่เกิดขึ้นบนเวเฟอร์และเวเฟอร์ซิลิกอนเนื่องจากแรงเสียดทาน

วัสดุ: ดู

5.Semiconductor แพ็คเกจทดสอบซ็อกเก็ต

ซ็อกเก็ตทดสอบเป็นวงจรโดยตรงของส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์แต่ละตัวที่เชื่อมต่อด้วยไฟฟ้ากับเครื่องมือทดสอบบนอุปกรณ์ซ็อกเก็ตทดสอบที่แตกต่างกันจะใช้เพื่อทดสอบนักออกแบบวงจรรวมที่ระบุโดยไมโครชิพที่หลากหลาย วัสดุที่ใช้สำหรับซ็อกเก็ตทดสอบควรตรงตามข้อกำหนดของความเสถียรในมิติที่ดีในช่วงอุณหภูมิที่กว้างความแข็งแรงเชิงกลการก่อตัวของเสี้ยนต่ำความทนทานและความสะดวกในการประมวลผล

วัสดุ: Peek, PPS, PAI, PI, PEI